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                            中国要造出5nm的光刻机需要多长时间呢?

                            • ?发布时间:
                            • 2021-05-18 22:16
                            • 瑞奇家居在线
                            个人认为,应该还需要10年左右。
                            要制造一部光刻机,最核心的部件就是镜头和激光光源,而现在中国在这两项技术上还非常的落后。现在全球能够生产5nm及以上光刻机的厂家只有一个,就是荷兰的ASML,而其中最根本的原因就是光源。
                            现在,ASML是全球唯一一家掌握了极紫外光源技术的公司,要想突破7nm的这个技术瓶颈,就必须使用极紫外光源。最近,中芯国际就向ASML成功订购了一台光刻机,可以生产出7nm的芯片,但是,这台光刻机都不是EUV光源的,使用的是浸润ArF技术,也就是说7nm已经是这台光刻机的极限了。

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